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產(chǎn)品中心

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反射膜厚儀

更新時(shí)間：2020-08-12

產(chǎn)品品牌：Semiconsoft

產(chǎn)品型號：MProbe RT

產(chǎn)品描述：大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。

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產(chǎn)品概述

大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導(dǎo)體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭)，聚合物涂層(聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

該機(jī)大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導(dǎo)體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭)，聚合物涂層(聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

測量范圍: 1 nm -20um(UVVis)，1nm-150um(UVVisNIR)

波長范圍: 200 nm -1000 nm(UVVis)

200nm-1700nm(UVVisNIR)

適用于實(shí)時(shí)在線測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等；

藍(lán)寶石基底上1025nm厚度的氧化物薄膜的反射率和透射率，波長范圍(200-1700nm)：

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