更新時(shí)間：2020-08-12
產(chǎn)品品牌：Semiconsoft
產(chǎn)品型號(hào)：MProbe UVVisSR
MProbe UVVisSR薄膜測(cè)厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導(dǎo)體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭)，聚合物涂層(聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
該機(jī)大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導(dǎo)體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭)，聚合物涂層(聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
測(cè)量范圍: 1 nm -50um
波長范圍: 200 nm -1000 nm
MProbe UVVisSR薄膜測(cè)厚儀適用于實(shí)時(shí)在線測(cè)量，多層測(cè)量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測(cè)量指標(biāo)：薄膜厚度，光學(xué)常數(shù)
界面友好: 一鍵式測(cè)量和分析。
實(shí)用的工具：曲線擬合和靈敏度分析，背景和變形校正，連接層和材料，多樣品測(cè)量，動(dòng)態(tài)測(cè)量和產(chǎn)線批量處理。
（MProble NIR薄膜測(cè)厚儀系統(tǒng)示 ）
案例1，73nm SiN氮化硅薄膜的測(cè)量
硅晶圓反射率，測(cè)量時(shí)間10ms
使用Tauc-Lorentz模型，測(cè)量SiN薄膜的n和k值
電話：86-021-37018108
傳真：86-021-57656381
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