更新時(shí)間：2021-03-02
產(chǎn)品品牌：Semiconsoft
產(chǎn)品型號(hào)：MProbe系列
當(dāng)一束光入射到薄膜表面時(shí)，薄膜上表面和下表面的反射光會(huì)發(fā)生干涉，干涉的發(fā)生與薄膜厚度及光學(xué)常數(shù)等有關(guān)，反射光譜薄膜測(cè)厚儀就是基于此原理來測(cè)量薄膜厚度。
反射膜厚儀是一種非接觸式、無損的、快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量技術(shù)。
測(cè)量范圍: 1 nm - 1 mm
波長(zhǎng)范圍: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2um -3 um
標(biāo)準(zhǔn)配置中包含：
1. 主機(jī)(光譜儀，光源，電線)
2. 反射光纖
3. 樣品臺(tái)及光纖適配器
4. TFCompanion軟件
5. 校準(zhǔn)套裝
6. 測(cè)試樣品，200nm晶圓
廣泛的應(yīng)用于各種工業(yè)生產(chǎn)及工藝監(jiān)控中：
半導(dǎo)體晶圓，薄膜太陽能電池，液晶平板，觸摸屛，光學(xué)鍍膜，聚合物薄膜等
半導(dǎo)體制造：· 光刻膠 · 氧化物 · 氮化物
光學(xué)鍍膜：· 硬涂層 · 抗反射涂層 · 濾波片
生物醫(yī)學(xué)：· 生物膜厚度 · 硝化纖維
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