更新時(shí)間:2024-01-17
產(chǎn)品品牌:布魯克Bruker
產(chǎn)品型號(hào):DEKTAK XT
布魯克 探針式輪廓儀/臺(tái)階儀
Dektak XT
布魯克 DektakXT 探針式輪廓儀(臺(tái)階儀)采用了革命性的臺(tái)式設(shè)計(jì),結(jié)合行業(yè)領(lǐng)先的技術(shù)和設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了高性能、高易用性以及高性價(jià)比的統(tǒng)一,從研發(fā)到質(zhì)量控制方面都有更好的過程控制。
設(shè)備可實(shí)現(xiàn) 4? (0.4nm) 的優(yōu)異重復(fù)性,掃描速度提高40%,為微電子、半導(dǎo)體、觸摸屏、太陽(yáng)能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌測(cè)量技術(shù)提供支持。
設(shè)備特點(diǎn):
- 無可匹敵的性能,臺(tái)階高度重現(xiàn)性低于4?
革新的設(shè)計(jì)、全面的配件以及優(yōu)化的操作和分析軟件使DektakXT獲得了更強(qiáng)勁的性能和更卓越的臺(tái)階高度重現(xiàn)性。
- Single-arch(單拱門式)設(shè)計(jì),提供突破性的掃描穩(wěn)定性
Single-arch(單拱門式)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使 DektakXT 更堅(jiān)固,從而將環(huán)境噪音的影響降至更低。
Dektak XT的掃描探針可實(shí)現(xiàn)同時(shí)大垂直范圍和低力掃描。
- 升級(jí)的“智能電子器件”,提高測(cè)試精度和穩(wěn)定性
DektakXT 升級(jí)的"智能電子器件",采用先進(jìn)處理器,降低噪聲水平,使其成為能夠測(cè)量 <10nm 臺(tái)階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。
- 優(yōu)化的硬件配置,使數(shù)據(jù)采集時(shí)間縮短40%
利用獨(dú)特的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái),將測(cè)量時(shí)間加快 40%,同時(shí)保持行業(yè)領(lǐng)先的性能。
DektakXT 的 64 位并行處理 Vision64 在更短的時(shí)間里完成并處理大型 3D 數(shù)據(jù)文件。
- 64-bit、Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍
Vision64 是布魯克的 64 位并行處理操作和分析軟件,能夠更快地加載 3D 形貌數(shù)據(jù),并更快地應(yīng)用濾波器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫(kù)分析。
- 直觀的Vision64用戶操作界面,使用更簡(jiǎn)單
Vision64 軟件提供直觀、簡(jiǎn)化的用戶可視化界面,將智能架構(gòu)和可自定義自動(dòng)化功能相結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。
DektakXT 的 Vision64 顯著簡(jiǎn)化并加快了操作和數(shù)據(jù)分析
- 針尖自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng),讓用戶輕松更換針尖探針
DektakXT 的自對(duì)齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針,同時(shí)消除換針過程中的潛在風(fēng)險(xiǎn)。
- 廣泛的探針型號(hào)
布魯克能夠提供廣泛的探針尺寸和形狀,幾乎滿足各種應(yīng)用需求。
DektakXT 具有更快、更簡(jiǎn)單的換針流程。
- 單傳感器設(shè)計(jì)
提供單一平面上低作用力和寬掃描范圍。
- 確保高通量測(cè)試
DektakXT 能夠快速輕松地設(shè)置和運(yùn)行自動(dòng)化的多樣品測(cè)量模式,以卓越的可重復(fù)性驗(yàn)證整個(gè)晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監(jiān)控可以通過提高測(cè)試通量來節(jié)省寶貴的時(shí)間和金錢。
DektakXT 對(duì)復(fù)合電路板進(jìn)行3D掃描
應(yīng)用案例:
· 薄膜測(cè)試 - 確保高產(chǎn)
在半導(dǎo)體制造中嚴(yán)密監(jiān)測(cè)沉積和蝕刻比率均勻性、薄膜應(yīng)力,以及觸摸屏面板上ITO薄膜厚度檢測(cè),能節(jié)省大量時(shí)間和金錢。薄膜的不均勻或太大的應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致低產(chǎn)及成品性能欠佳。DektakXT能方便快捷地設(shè)置和運(yùn)行自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)試程序來檢驗(yàn)晶片薄膜的精確厚度,達(dá)到納米級(jí)別。DektakXT 所具有的強(qiáng)大的重現(xiàn)性能夠提供給工程師精確的薄膜厚度和應(yīng)力測(cè)試,來精確調(diào)節(jié)蝕刻和沉積以提供收益。
· 表面粗糙度檢測(cè) - 確保性能
DektakXT適合很多產(chǎn)業(yè)(包括汽車、航空和醫(yī)療設(shè)備 )的精密機(jī)器零部件的表面粗糙度常規(guī)鑒定。例如,矯形植入物的背面的羥磷灰石(
hydroxyapatite ) 涂層粗糙度會(huì)影響植入后的粘結(jié)力和功效。利用DektakXT進(jìn)行表面粗糙度的快速分析能判斷晶質(zhì)生產(chǎn)是否達(dá)到預(yù)期,植入物能否通過產(chǎn)品要求。使用Vision64數(shù)據(jù)庫(kù)的pass/fail標(biāo)準(zhǔn),質(zhì)量管理部門能輕松判斷植入物是重做或者確保其質(zhì)量。
· 太陽(yáng)能柵線分析 - 降低制造成本
在太陽(yáng)能市場(chǎng),Dektak非常適合用于測(cè)量單晶硅和多晶硅太陽(yáng)能面板上導(dǎo)電銀柵線的臨界尺寸。銀線的高度、寬度和連續(xù)性與太陽(yáng)能電池的能量引導(dǎo)緊密相關(guān)。生產(chǎn)的理想狀態(tài)是恰如其分地使用銀,以具有更好的導(dǎo)電性,而不浪費(fèi)昂貴的銀。DektakXT通過軟件分析來實(shí)現(xiàn),報(bào)告銀柵線的臨界尺寸,以確定出現(xiàn)導(dǎo)電性所需的精確分量。Vision64的數(shù)據(jù)分析方法和自動(dòng)功能有助于該驗(yàn)證過程的自動(dòng)化。
· 微流體技術(shù) - 檢測(cè)設(shè)計(jì)和性能
Dektak能在大垂直范圍(高達(dá)1mm
)測(cè)量感光材料達(dá)到埃級(jí)重現(xiàn)性的探針輪廓儀。MEMS和微流體技術(shù)行業(yè)的研究者能使用DektakXT來進(jìn)行鑒定測(cè)試,確保零件符合規(guī)格。低作用力測(cè)量功能NLite+輕觸感光材料來測(cè)量垂直臺(tái)階和粗糙度。
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