自2014年起,國產(chǎn)12寸晶圓的量產(chǎn)問題得到解決,國產(chǎn)晶圓進(jìn)入到一個飛速發(fā)展的時期中。晶圓作為芯片的載體,在當(dāng)今科技時代起著至關(guān)重要的作用,小到遙控器、手機(jī),大到航天領(lǐng)域,例如衛(wèi)星等都離不開晶圓。那么晶圓的加工工藝是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)決定了成品的優(yōu)劣。今天筆者就為大家介紹Bruker Dektak-XT接觸式表面輪廓儀在晶圓方面的測試應(yīng)用。
Bruker Dektak-XT接觸式表面輪廓儀(臺階儀)作為Dektak系列第十代產(chǎn)品,經(jīng)過50多年的更新升級及技術(shù)創(chuàng)新,目前已成為使用廣泛的接觸式表面檢測設(shè)備,有著眾多的用戶群體并得到好評。
①臺階高度重現(xiàn)性低于4Å
②主流的LVDT傳感器技術(shù)
晶圓在制作電路的流程中,主要以光刻、蝕刻、沉積、研磨、拋光等工藝排列組合,在硅片上將電路層層疊加。Dektak-XT接觸式表面輪廓儀能夠用于每個工藝過程。
光刻/沉積:光刻/沉積工藝中臺階高度的測試
蝕刻:蝕刻工藝中臺階高度或凹槽深度的測試
拋光/研磨:拋光/研磨工藝中粗糙度的測試
在以上測試中,臺階儀都能夠快速的得到相應(yīng)數(shù)據(jù)。