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布魯克 JV-QC3 高分辨率X射線衍射儀 XRD

更新時(shí)間:2023-09-06

產(chǎn)品品牌:布魯克Bruker

產(chǎn)品型號: JV-QC3

產(chǎn)品描述:JV-QC3 高分辨率X射線衍射儀是布魯克半導(dǎo)體部門新推出的專為化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體生產(chǎn)質(zhì)量控制設(shè)備。

JV-QC3   高分辨率X射線衍射儀

高精技術(shù)指標(biāo),快速自動化產(chǎn)品質(zhì)量控制

專為半導(dǎo)體材料的結(jié)構(gòu)參數(shù)測定與生產(chǎn)質(zhì)量控制而設(shè)計(jì)

產(chǎn)品簡介

JV-QC3是布魯克半導(dǎo)體部門推出的新型半導(dǎo)體生產(chǎn)質(zhì)量控制設(shè)備,是一款專為化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所設(shè)計(jì)的生產(chǎn)質(zhì)量控制型高分辨率X射線衍射儀。

布魯克科技公司半導(dǎo)體部門研發(fā)質(zhì)量控制型(QC)設(shè)備已經(jīng)有三十余年的歷史, Bede   QC200機(jī)型作為QC3機(jī)型的前身,已經(jīng)在全球被廣泛應(yīng)用Si,GaAs,InP,GaN, 及其他相關(guān)半導(dǎo)體襯底或外延層材料的測試和生產(chǎn)控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

●    實(shí)現(xiàn)了高分辨率X射線衍射測試技術(shù)的部分或完全自動化,并可根據(jù)客戶產(chǎn)品的具體需求來定制設(shè)計(jì)專用的自動化控制程序和質(zhì)量控制參數(shù)。

●    可根據(jù)客戶要求配置自動化機(jī)械手臂,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓片的自動化裝載, 在生產(chǎn)線上執(zhí)行測試流程的全自動化。

●    可一次性同時(shí)放置多個晶圓片,單一自動化程序完成全部晶圓片測試,如直徑為100 mm晶圓片,樣品盤上可以同時(shí)放置4片或以上。控制軟件可以依次針對樣品盤上所有的晶圓片,執(zhí)行測試程序菜單,從而減少人工操作的時(shí)間,提高測試效率。

產(chǎn)品優(yōu)勢

●    專注于半導(dǎo)體材料的高分辨率X射線衍射,不為兼顧其他X射線測試技術(shù)而降低對分辨率的要求。

●    與上一代的質(zhì)量控制型設(shè)備相比,提高了X射線的強(qiáng)度。在相同測試速度的情況下,測試精度更高;在相同測試精度的條件下,測試速度更快。

●    降低了設(shè)備及附件的購置和維護(hù)成本。

●    更低的運(yùn)行成本。

●    "XRG Protect”技術(shù),可以有效延長X射線光管的使用壽命。

●    環(huán)保的綠色工作模式,待機(jī)時(shí)有效降低能耗。

●    提供用于自動化轉(zhuǎn)載晶圓片的機(jī)械手臂,具備多片批次式的同時(shí)測試功能,提供生產(chǎn)測試效率。

●     操作簡便,無需專業(yè)人員進(jìn)行操作。

●    晶片準(zhǔn)直、數(shù)據(jù)采集與分析完全自動化。

●    自動化數(shù)據(jù)擬合分析軟件。

●    可實(shí)現(xiàn)客戶遠(yuǎn)程控制生產(chǎn)線上的數(shù)據(jù)采集與結(jié)果報(bào)告

技術(shù)應(yīng)用

直接測并確定多外延膜結(jié)構(gòu)的外延組分、弛豫度和應(yīng)變

自動準(zhǔn)直品圓片、自動化測試、自動化分析數(shù)據(jù)、自動輸出測試結(jié)果

自動化衍射數(shù)據(jù)擬合分析,采用Bruker JV - RADS 軟件(即Bede RADS)

可以實(shí)現(xiàn)化合物半導(dǎo)體材料的對稱幾何、非對稱幾何及傾斜對稱幾何的X射線衍射

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