布魯克 探針式輪廓儀系統(tǒng)/臺(tái)階儀系統(tǒng)

Dektak XTL

Dektak XTL 探針式輪廓儀系統(tǒng)（臺(tái)階儀系統(tǒng)）是為大型晶圓和面板制造等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的探針式輪廓儀系統(tǒng)，可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，擁有高精度的掃描性能和優(yōu)異的可重復(fù)性和再現(xiàn)性。

設(shè)備采用空氣振動(dòng)隔離和全封閉工作站設(shè)計(jì)，具有易用的聯(lián)鎖門，可用于苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中。雙攝像頭架構(gòu)，可增強(qiáng)空間感知能力。高自動(dòng)化水平可更大限度地提高測(cè)試通量。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

-      Dektak系列臺(tái)階儀所具有的強(qiáng)大性能

革新的設(shè)計(jì)、全面的配件以及優(yōu)化的操作和分析軟件使Dektak系列臺(tái)階儀獲得了更強(qiáng)勁的性能和更卓越的重現(xiàn)性。

-      單拱形架構(gòu)、集成振動(dòng)隔離系統(tǒng)和大型聯(lián)鎖門

單拱形的架構(gòu)和空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)使 Dektak XTL 更加穩(wěn)固，并且能夠更加有效的避免設(shè)備受到環(huán)境噪音的影響。該系統(tǒng)的大型聯(lián)鎖門設(shè)計(jì)能夠使用戶在裝載/卸載樣品時(shí)更加的安全和便捷。

-      更大且支持高精度編碼 XY 樣品工作臺(tái)

可容納高達(dá) 350mm x 350mm 樣品的XY工作臺(tái)，并能夠?qū)崿F(xiàn)更快的自動(dòng)數(shù)據(jù)收集。

-      雙攝像頭控制系統(tǒng)

Dektak 的雙攝像頭控制與高清放大雙視場(chǎng)相機(jī)提供增強(qiáng)的空間感知，實(shí)時(shí)視頻中的點(diǎn)擊定位使操作員能夠快速將樣品移動(dòng)到正確的位置，以便快速輕松地進(jìn)行測(cè)量設(shè)置和自動(dòng)化編程。

-      方便的分析和數(shù)據(jù)采集

快速分析儀支持大部分常用分析方法，可輕松實(shí)現(xiàn)分析程序自動(dòng)化，能夠通過臺(tái)階檢測(cè)功能將分析集中于復(fù)雜樣品上感興趣的特征，并通過賦予每個(gè)測(cè)量點(diǎn)名稱并自動(dòng)記錄到數(shù)據(jù)庫來簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)分析。

-      N-Lite 低作用力，采用軟觸控技術(shù)

具有 1mm 測(cè)量范圍，可同時(shí)用于測(cè)量精密和高垂直范圍樣品。

-      可靠的自動(dòng)化設(shè)置和操作

借助300毫米的自動(dòng)化編碼XY工作合以及360度旋轉(zhuǎn)能力，通過精確編程可實(shí)現(xiàn)控制無限制測(cè)量位置。帶圖形識(shí)別功能的Vision64位產(chǎn)品軟件能夠有效減少使用中的定位偏差。支持將自定義用戶提示以及其它元數(shù)據(jù)編入您的方案中，并存儲(chǔ)到數(shù)據(jù)庫內(nèi)。

-      增強(qiáng)的分析軟件

系統(tǒng)配備 Vision64 軟件，通過數(shù)百種內(nèi)置分析工具實(shí)現(xiàn)眾多的測(cè)量位點(diǎn)、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測(cè)量形狀，如曲率半徑。模式識(shí)別可更大限度地減少操作員誤差并提高測(cè)量位置精度。集成化的軟件包將數(shù)據(jù)收集和分析與直觀的工作流程相結(jié)合。

-      針尖自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)，讓用戶輕松更換針尖探針

Dektak XTL 的自對(duì)齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針，同時(shí)消除換針過程中的潛在風(fēng)險(xiǎn)。

-      廣泛的探針型號(hào)

布魯克能夠提供廣泛的探針尺寸和形狀，幾乎滿足各種應(yīng)用需求。

應(yīng)用案例：

·      晶片應(yīng)用：

沉積薄膜(金屬、有機(jī)物)的臺(tái)階高度

抗蝕劑( 軟膜材料)的臺(tái)階高度

蝕刻速率測(cè)定

化學(xué)機(jī)械拋光(腐蝕,凹陷,彎曲)

·      大型基板應(yīng)用:   

印刷電路板(凸起、臺(tái)階高度 )

窗口涂層

晶片掩模

晶片卡盤涂料

拋光板

·      玻璃基板及顯示器應(yīng)用：

AMOLED

液晶屏研發(fā)的臺(tái)階步級(jí)高度測(cè)量

觸控面板薄膜厚度測(cè)量

太陽能涂層薄膜測(cè)量

·     柔性電子器件薄膜：

有機(jī)光電探測(cè)器

印于薄膜和玻璃上的有機(jī)薄膜

觸摸屏銅跡線