原理
照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置計算出被測樣品的相對高度,從而得到樣品表面的三維尺寸信息。如下圖所示。
白光干涉儀的優(yōu)點
非接觸式測量,不損傷樣品;
測試效率高,幾秒鐘成像,自動分析結(jié)果;
高度方向分辨率高,在不同物鏡下均可達0.1nm,實現(xiàn)亞納米級的測量;
優(yōu)異的重復(fù)性;
分析功能強大,簡便易用;
優(yōu)異的擴展性。
白光干涉儀的作用
可以進行膜厚測量,溝槽測量,翹曲分析,表面粗糙度測量,表面高度及盲孔測量,樣品表面圖案尺寸測量等。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,光學(xué)器件,太陽能電池,MEMS,生命科學(xué),材料學(xué)等行業(yè)。
布魯克白光干涉儀介紹
WYKO白光干涉儀誕生于1982年,2010年加入布魯克,與布魯克強強聯(lián)合,經(jīng)過40多年技術(shù)不斷發(fā)展及革新,布魯克白光干涉儀已經(jīng)逐步在行業(yè)中內(nèi)有良好口碑。且:
3項 美國R&D 100 大獎
6項 Photonics Circle of Excellence Awards大獎
根據(jù)不同的應(yīng)用場景及樣品情況,布魯克有以下等多個型號供用戶選擇:
ContourX-100 ContourX-200
ContourX-500 ContourX-1000
NPFLEX-1000 ContourSP
應(yīng)用及效果
布魯克白光干涉儀的應(yīng)用及效果
表面粗糙度測量
表面高度測量
表面高度及盲孔測量
溝槽自動分析
三維實時測量
表面翹曲測量
軟件界面分析
布魯克白光干涉儀因其操作簡便,分辨率及重復(fù)性良好,軟件分析功能強大,且售后服務(wù)專業(yè)及時等優(yōu)點,從而成為形貌測量工程師的選擇,并被廣泛運用于半導(dǎo)體,光學(xué)器件,太陽能,微電子,材料學(xué)等各個行業(yè)。